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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【交流】为什么镀膜机使用时间长了很难抽真空
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yaokeguang

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[交流] 【交流】为什么镀膜机使用时间长了很难抽真空

请问各位兄弟姐妹们
为什么镀膜机使用时间长了很难抽真空
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1楼2010-12-10 09:39:05
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spectrumhurt

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
估计是扩散泵的油长时间使用被氧化了，可以考虑换油
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12楼2011-03-22 16:55:27
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
yaokeguang(金币+1): 2010-12-11 20:27:19
小木虫:)(金币+2):3q 2010-12-12 09:30:16
引用回帖:
Originally posted by yaokeguang at 2010-12-10 09:39:05:
请问各位兄弟姐妹们
为什么镀膜机使用时间长了很难抽真空

到底是真空泵系统问题还是真空气密性问题？

气密性橡胶被污染还是老化？
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-12-10 13:28:14
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wudong863

金虫 (小有名气)
★ ★ ★
yaokeguang(金币+1): 2010-12-11 20:29:13
小木虫:)(金币+3):3q 2010-12-12 09:30:22
一般都是气密性的问题。
还有真空规也会被污染
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3楼2010-12-10 14:00:13
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陈银

木虫 (著名写手)
★
yaokeguang(金币+1): 2010-12-11 20:27:45
小木虫:)(金币+1):3q 2010-12-12 09:30:35
也许该换机械泵的油了。。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-12-10 21:55:53
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