| 查看: 491 | 回复: 1 | |||
yexuqing木虫之王 (文学泰斗)
太阳系系主任
|
[交流]
【转帖】东芝通过导入应变硅技术将纳米线晶体管的驱动力提高58％ 已有1人参与
|
|
东芝通过导入应变硅技术将纳米线晶体管的驱动力提高58％ 2010/12/09 00:00 打印 E-mail  （点击放大）  （点击放大）  （点击放大） 东芝证实，通过在纳米线晶体管中使用应变硅（Si）技术，可将纳米线晶体管的驱动力提高58％。该成果已在“2010 IEEE International Electron Devices Meeting（IEDM 2010）”（2010年12月6～8日，美国旧金山）上发布。 为了实现20nm以后的微细化，业内对多种三维（3D）晶体管构造展开了研究。纳米线晶体管就是其中之一。该晶体管采用MOS FET的沟道部分由纳米级细线形状的硅构造。由于栅极包围着细沟道，因此提高了栅极的控制性，能够抑制成为微细化课题之一的、短沟道效应导致的泄漏电流增大现象。不过，纳米线晶体管的驱动力较低，也就是说存在导通电流小的问题。 此次东芝在纳米线晶体管中使用了应变记忆技术（SMT）。通过由栅电极向沟道施加应力使沟道的硅结晶发生应发，由此来提高载流子迁移率。此次试制的晶体管中，n型晶体管的导通电流增加58％（截止电流为1000nA/nm时）。今后东芝将通过综合运用2010年6月开发的技术和此次的技术，来增加导通电流。2010年6月开发的技术可通过优化栅极侧壁的加工以及旋转结晶方向，来增加导通电流。东芝的目标是在进行此类技术开发的同时，推进绝缘膜的薄膜化，使导通电流增加2倍以上。（记者：长广 恭明） ■日文原文 【IEDM】ナノワイヤ·トランジスタの駆動力を東芝が58％向上，歪みSi技術の導入で |
回复此楼» 猜你喜欢
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有123人回复
-
今天基金会出结果吗？20260819
已经有13人回复
-
时间戳变了，能看出什么问题？
已经有16人回复
-
filecode，4个jtjc了
已经有13人回复
-
为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？
已经有5人回复
-
今天放榜没戏了吧
已经有5人回复
-
今天放榜吗？
已经有15人回复
-
filecode=后面第一个是大写字母
已经有12人回复
-
2027广东省杰青
已经有10人回复
-
朋友圈看到的
已经有8人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 分享三篇纳米氧化铁合成及应用的最新文献（新增EES综述一篇）
已经有383人回复
- 求几篇语言上可以作为范文的科技论文
已经有6人回复
- 水热法中的离心。
已经有4人回复
- 氧化石墨久置为什么又重新氧化？？？
已经有10人回复
- Mn掺杂CeO2 请教
已经有21人回复
- 请问这个SEM图片怎么样
已经有48人回复
- 纳米颗粒如图所示怎么回事？请指教。
已经有31人回复
- 请教如何计算应力-应变曲线下的面积。
已经有13人回复
- CO2是“冰消期”全球变暖的一个驱动力
已经有6人回复
- 铝合金应力—应变曲线
已经有21人回复
- 为什么纳米粒子的正极材料循环性能变差
已经有13人回复
- 硅烷偶联剂改性TiO2求助撒～
已经有7人回复
qwert05054
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 12782.4
- 散金: 1
- 红花: 2
- 帖子: 1343
- 在线: 125.2小时
- 虫号: 805586
- 注册: 2009-07-08
- 专业: 集成电路制造与封装
2楼2010-12-09 10:28:00
