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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 金属薄膜,怎么检测?
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guodongbill

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 金属薄膜,怎么检测?

我在金属基体上镀了一种镍金属膜,厚度大约为0.1~0.4微米之间,较致密,结合力好,怎么做成分分析呢?扫描电镜已经试过了,基体对结果影响很大,有什么其他的方法吗?
多谢!!!
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我正忙，你去找那个看贴不回贴的吧！
1楼 2006-06-23 17:13:06
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zfzzhao

至尊木虫 (正式写手)
这么厚？用XPS试试。
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2楼2006-06-23 20:57:38
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westwolf

木虫 (著名写手)

0.5

因为SEM上的eds或edx的信息深度在1-2um,所以不建议用sem进行成分分析。可用
1)2楼说的xps.可用离子枪先溅射清洁表面由于大气环境的污染。这样你可以得到大面积的平均化学成分。如果你关心化学态（化合物），不建议用离子溅射清洁处理
2)AES(俄歇电子能谱学)。可测表面化学成分。与xps相比可以测比较小的微区（可到20nm大小的区域，与所用的仪器有关）的化学成分。
3)如果关心物相结构，可用小角度xrd.
4)如果关心微量成分，可用二次离子质谱(SIMS).
上面的几种表面分析（XPS,AES,SIMS）还可以进行深度表面程度分布的定量分析。
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3楼2006-06-24 03:41:05
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rainhall

银虫 (小有名气)

0.25

楼上说得很详细了 另外如果要是相组成可以做一下掠射角XRD
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4楼2006-06-24 09:55:25
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guodongbill

铁杆木虫 (小有名气)
多谢westwolf！
偶是新来的，望各位多多帮忙！
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我正忙，你去找那个看贴不回贴的吧！
5楼2006-06-24 13:18:24
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