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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】硅片对氦气吸收
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phblue

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅片对氦气吸收

器件在外封时需要掺氦气，方便后面的气漏测试；
据说硅会吸收氦气，请问下哪位有相关的资料。谢谢
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1楼 2010-12-07 18:09:52
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