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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】如何在金属表面构筑微米/纳米结构
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月夜小船

新虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】如何在金属表面构筑微米/纳米结构

大家集思广益，互相探讨一下~
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1楼 2010-12-01 20:58:45
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MKK2009

木虫 (正式写手)
★
月夜小船(金币+1): 2010-12-13 00:00:59
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-05-17 17:54:18
化学腐蚀
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2楼2010-12-03 16:27:34
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solar散人

金虫 (正式写手)
★
月夜小船(金币+1): 2010-12-13 00:00:56
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-05-17 17:54:26
掩模，刻蚀。半导体行业都这么做的。可以在查文献时，搜两个关键字。
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3楼2010-12-03 19:44:20
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赵福城

木虫 (小有名气)
★
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-05-17 17:54:34
化学沉积
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4楼2010-12-15 16:40:30
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)
这个题目很大哦。
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5楼2010-12-15 17:40:23
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T.Y.Xue

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 2011-05-17 17:14:14
先在基片上涂上感光胶，用相干光光刻后，镀膜
赞一下(2人) 回复此楼
6楼2010-12-15 20:21:37
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yanghui2521

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-05-17 17:54:45
有序的微米/纳米结构？
赞一下(2人) 回复此楼
7楼2010-12-15 20:57:44
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-05-17 17:54:58
引用回帖:
Originally posted by T.Y.Xue at 2010-12-15 20:21:37:
先在基片上涂上感光胶，用相干光光刻后，镀膜

可以将光刻胶直接涂在金属上进行光刻吗？我新人一个，望赐教谢谢
赞一下(2人) 回复此楼
8楼2011-05-17 10:36:15
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T.Y.Xue

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-05-17 17:14:23
这过程还算复杂，你可以看看美国西南大学Odom课题组的方法，很有用，现在软刻蚀很火，还有纳米压印，这是实现大面积生产方面很有潜力
赞一下(2人) 回复此楼
9楼2011-05-17 16:57:16
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jinjie_led

金虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
用FIB 直接刻-----------------------------------------------
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10楼2011-05-17 19:17:03
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lyw123321

木虫 (正式写手)
MEMS
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11楼2011-05-18 09:12:40
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司水良言

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
利用化学作用，先在金属表面修饰，例如和巯基酸作用，再和金属纳米材料结合。
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12楼2011-05-18 09:17:07
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