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小p闲

金虫 (小有名气)

[交流] 怎样在导电玻璃上制备致密的TiO2层

制作有机无机杂化太阳能电池，需要用TiO2做电子阻挡层，要求要致密，厚度适合。很多相关文献中，该层大概20nm厚。想请教高手，如何制备这个致密层？
    尝试过用TiCl4水溶液水浴+浸泡，或者用溶胶旋涂，但是制的的致密层有裂纹，且厚度不均。
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1楼2010-11-25 14:39:51
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小p闲

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by yiayia1021 at 2010-11-25 15:46:26:
磁控溅射

你回复，磁控溅射对靶材的要求太高，而且也溅射也不一定是TiO2，说不定还有Ti原子什么的。有没有其他的方法？
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3楼2010-11-25 15:50:07
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)
感觉这名字好熟悉，呵呵，这个问题太难了，不懂，飘过！
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4楼2010-11-26 08:39:07
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wxy1984

铜虫 (小有名气)
小p闲(金币+1): 2010-11-29 13:59:26
磁控溅射 比较致密 通过调节O2/Ar压比貌似可以做成不同导电类型（P/N）
无论什么方法都会引入杂质
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5楼2010-11-26 17:58:41
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Greatsun110

金虫 (小有名气)
0.05M TiCl4水溶液，70度侵泡30分钟
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6楼2011-03-11 09:29:06
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