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【其他】三菱材料开发出可延长薄膜电容器寿命的新材料,改进PZT类高介电体溶胶凝胶液
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三菱材料开发出可延长薄膜电容器寿命的新材料,改进PZT类高介电体溶胶凝胶液 2010/11/22 00:00 打印 E-mail ![]() PZT类薄膜电容器的截面。(点击放大) ![]() 在电极上形成的高介电体层。(点击放大) 三菱材料开发出了可延长薄膜电容器寿命的高介电体材料。该公司称,通过改进材料成分及膜纹理控制技术,在高温高压下的加速寿命试验中实现了十数倍于现行标准产品的寿命。 新开发的材料为锆钛酸铅(PZT)类高介电体溶胶凝胶(Sol-gel)液。该公司目前在生产并销售湿式工艺(溶胶凝胶法)薄膜电容器用PZT类高介电体溶胶凝胶液。此次对现有的这种材料作了改进。溶胶凝胶法,是在基板上涂布有机金属化合物溶液(溶胶液),使之干燥形成凝胶膜(胶状固体),并将其烧结,以在基板上获得金属氧化物膜的成膜方法。能以低于一般真空工艺(真空蒸镀法等)的成本制造。(记者:高野 敦) ![]() 三菱材料的薄膜电容器寿命评测装置。(点击放大) ■日文原文 三菱マテリアル、薄膜キャパシタを長寿命化する新材料を開発---PZT系高誘電体ゾルゲル液を改良 |
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