| 查看: 583 | 回复: 1 | |||
yexuqing木虫之王 (文学泰斗)
太阳系系主任
|
[交流]
【转帖】浜松光电开发出采用MEMS技术形成的光电倍增管已有1人参与
|
|
浜松光电开发出采用MEMS技术形成的光电倍增管 2010/11/17 00:00 打印 E-mail  浜松光电开发出了全球首款可采用MEMS技术制造的小型光电倍增管“μPMT”。利用蚀刻技术在硅基板上垂直刻出约900μm的沟槽，形成了电子倍增部（倍增电极）的精密构造（图1）注1）。与原来采用玻璃管的光电倍增管相比，体积减小至1/7，重量减小至1/9，实现了小型轻量化。 注1）：虽说采用了MEMS技术，但并不是像加速度传感器一样有机械可动的部分，而是采用了深槽蚀刻技术。 光电倍增管（PMT）为高灵敏度光传感器，原来通过手工作业组装数十个部件，然后在玻璃管内进行真空封装，因此小型化有一定法人极限，量产数量最多的品种每年也只有10万个。  图1：采用MEMS技术制造的光电倍增管 光垂直摄入光电面，随后在电子倍增部放大。外形尺寸为长13mm×宽10mm×厚2mm，重量为0.5g。 而采用此次的技术，由于利用MEMS技术加工硅基板后，只需用2张玻璃基板封装即可，部件点数很少，因此可实现与半导体产品相当的大批量生产注2）。原来的PMT单价为1万日元以上，但此次的μPMT“如果以量产为前提，价格可为数千日元”（浜松光电）。另外，工作原理与原来的玻璃管型PMT相同，倍增率可确保100万倍以上，性能方面也毫不比原产品逊色。 注2）：玻璃基板与硅基板采用阳极粘合技术粘接。 力争用于便携式医疗设备等 此次的μPMT是使1mm×4mm的光电面接收的信号倍增的单点式传感器。力争利用小型、轻量及价位低的优点，用于便携式医疗设备、保健设备及化学分析设备等。 比如，设想在医师门诊及住院患者病床边等处，对患者进行精密的血液检查，以缩短检查时间的用途等。此外，还可应用于遗传基因分析DNA微阵列，以及大气污染及水质等环境用小型检测设备等。 浜松光电今后还考虑采用二维图像传感器设计。另外，据该公司介绍，走的是与小型化相反的路线，光电面可扩大至晶圆大小，还可提高灵敏度。（记者：进藤 智则） ■日文原文：光電子増倍管をMEMSで形成、浜松ホトニクスが開発 |
回复此楼» 猜你喜欢
职称评审没过，求安慰
已经有15人回复
-
垃圾破二本职称评审标准
已经有11人回复
-
投稿Elsevier的Neoplasia杂志，到最后选publishing options时页面空白，不能完成投稿
已经有16人回复
-
谈谈两天一夜的“延安行”
已经有14人回复
-
毕业后当辅导员了，天天各种学生超烦
已经有4人回复
-
EST投稿状态问题
已经有4人回复
-
聘U V热熔胶研究人员
已经有10人回复
-
求助文献
已经有3人回复
-
投稿返修后收到这样的回复，还有希望吗
已经有8人回复
-
三无产品还有机会吗
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 做光电化学生物传感器的，想投个比较容易中的杂志，求助大家。
已经有9人回复
- 镍进入钨中形成固溶体是置换形式的还是间隙形式的？
已经有6人回复
- 武汉光电国家实验室先进半导体材料与器件研究团队欲招收科研人员
已经有424人回复
- 浸渍法制备铜掺杂TiO2催化剂是否能形成固溶体
已经有12人回复
- GaN光电器件方面的投稿
已经有3人回复
- MEMS工艺类文章投稿求助
已经有9人回复
- MEMS及其实例分析
已经有59人回复
- 二本高校，MEMS微纳米方向想申请青年基金
已经有8人回复
- SCIENCE有机光电最新一篇——制备低功函的电极的普适方法
已经有132人回复
- 温州大学微纳结构与光电器件研究所招聘
已经有8人回复
- 【分享】《快速记忆与右脑开发101问》！！【已搜索无重复】
已经有59人回复
- 用DDQ，BSTFA在甾体A环酰胺α位引入双键，形成1-双键-3-羰基-4-氮杂的结构？
已经有20人回复
- 【求助】求助！采用直流溅射镀的Ag膜附着力太差！如何提高
已经有15人回复
- 【求助】共沉淀制备催化剂 怎么控制才能使形成的颗粒为球形？
已经有8人回复
