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【请教】石墨稀的CVD合成
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mophous
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专业: 半导体材料
[交流]
【请教】石墨稀的CVD合成
已有4人参与
有用CVD方法合成石墨稀成功的人,请教几个问题!
我使用CH4 和H2在950-1000℃合成,碳源气体含量0.5%-80% 在Cu foils上,生长时间2-30 min,样品从RT直接加热至反应温度,退火10-30 min,再反应,然后以<25 ℃/min 的速率降温,结果无论怎样得到的都是无定型碳颗粒直径 约25 nm,组成的膜,而没有石墨稀!
求解!
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1楼
2010-11-16 19:30:29
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mophous
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专业: 半导体材料
难道没有人?
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2楼
2010-11-16 21:10:54
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mophous
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虫号: 933910
注册: 2009-12-27
专业: 半导体材料
????
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3楼
2010-11-20 16:51:59
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虫号: 790183
注册: 2009-06-09
性别: GG
专业: 无机纳米化学
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小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
CVD做出的石墨烯很好 接近理论的石墨烯 再查查相关文献
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享受孤独
4楼
2010-11-21 09:34:43
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sdfhome
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帖子: 714
在线: 439.1小时
虫号: 811997
注册: 2009-07-19
性别: GG
专业: 电化学
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
气氛比例不合适吧,甲烷是不是用的太多了
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我们只经营裤子
5楼
2012-02-12 20:53:01
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铁杆木虫
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帖子: 396
在线: 132.9小时
虫号: 1541195
注册: 2011-12-17
性别: GG
专业: 无机材料化学
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
lchpy(金币+1): thanks for your information 2012-02-12 23:31:23
需要氢气载气的,而且碳气氛浓度要低,确保反应在类似于平衡条件下形核生长,长得太快肯定是无定型碳
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6楼
2012-02-12 21:51:59
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