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hello_kitty

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】有谁知道射频磁控溅射的原理

大家有谁知道射频磁控溅射的原理，紧急求助，拜托了各位！
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1楼 2010-11-15 00:18:46
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gongjijun

木虫 (正式写手)
★
zzy870720z(金币+1):谢谢提示 2010-11-15 07:58:14
hello_kitty(金币+1):谢谢 2010-11-15 16:34:56
在CNKI中搜一下相关的学位论文，很多的，或者看看等离子体方面的书。
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2楼2010-11-15 02:21:42
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zzy870720z

荣誉版主 (文坛精英)
hello_kitty(金币+1): 2010-11-15 16:35:12
你到物理版或是金属版求助，可能更合适
这边做实验的不多
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3楼2010-11-15 07:57:59
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