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铜虫 (正式写手)

[求助] 抽真空时的氧分压应该怎么计算

真空度抽到10零次方Pa，通100 Sccm的氩气和20 sccm的氧气，氧分压应该怎么计算

https://mse.lzjtu.edu.cn/info/1135/3082.htm(主页)，Email：635925636@qq.com

1楼 2010-11-10 15:25:15

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银虫 (职业作家)

glore(金币+5, 博学EPI+1): 2010-11-10 18:11:42
glore(金币+5): 2010-11-10 18:11:59

文章中的那些东东只能做参考，不同仪器大小不一样，各气体的气流量和分压比值存在对应关系，你可以认为比值是多少，但是由于压强不能根据气流量来确定还和真空腔的大学等有关，所以看论文里面的只能知道反应气体和溅射其他之间的比值，具体的还要你自己摸索.

2楼2010-11-10 15:58:38

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