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xxjgs

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】怎么定量测量单晶硅磨损之后硅元素和氧元素比值 已有1人参与

我通过二氧化硅球在单晶硅上做往复运动,由于摩擦作用使单晶硅发生氧化,并且产生了少量的磨屑,我想通过一定的方法测量磨屑的氧元素和硅元素比值来判断氧化程度。现在不知道怎么做,不知道各位大侠,谁有测量元素比值的方法?
欢迎交流。
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sucurse

铜虫 (小有名气)

考虑下傅里叶光谱吧。这个应该有效
2楼2014-03-19 22:31:19
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