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snchenge8778

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教物理溅射刻蚀的问题,非常谢谢!

请问在硅上甩胶,之后显影,在胶上溅射一层Au,然后进行物理溅射刻蚀Au后,样品上出现裂纹和Au起皮现象是怎么回事?非常感谢
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