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snchenge8778

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[交流] 【求助】请教物理溅射刻蚀的问题，非常谢谢!

请问在硅上甩胶，之后显影，在胶上溅射一层Au，然后进行物理溅射刻蚀Au后，样品上出现裂纹和Au起皮现象是怎么回事？非常感谢

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1楼 2010-11-05 10:46:09

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