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【分享】尼康Instech展示理论垂直分辨率高达1pm的三维表面形状测量系统
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尼康Instech展示理论垂直分辨率高达1pm的三维表面形状测量系统 2010/11/05 00:00 打印 E-mail  此次的系统 摄影：Tech-On!。（点击放大） 尼康Instech在“第25届日本国际机床展（JIMTOF2010）”（2010年10月28日～11月2日，东京有明国际会展中心）上，展示了以该公司的光学显微镜“Eclipse LV100”为基础的三维表面形状测量系统“BW-D50X”和“BW-A50X”。特点是理论垂直分辨率高达1pm（皮米）。 该系统采用白色干扰测量法，即利用基于白色光源生成的干扰波纹进行测量。据尼康Instech介绍，使用该测量法的三维表面形状测量系统，包括该公司在内已有多家企业在销售，不过该公司的产品利用拥有专利的自主算法等，确保了较高的测量精度。 系统主要的构成要素包括该公司的光学显微镜、分析算法、第三方企业的压电致动器及第三方企业的图片高速摄像头。该公司在其展位上将此次的系统安装在可动式防震台上进行了展示。 BW-D50X和BW-A50X的最大不同之处在于配备的图片高速摄像头。前者采用Photron制造的（25万像素）摄像头，后者采用加拿大DALSA制造的（140万像素）摄像头。配备Photron制摄像头的BW-D50X具有可高速测量的特点，以10μm分辨率扫描时可用4秒钟测量高度。配备DALSA制摄像头的BW-A50X具有平面方向分辨率较高的特点。不过，以10μm分辨率扫描时需花费10秒测量高度。价格方面，BW-D50X为1100万日元起，BW-A50X为900万日元起。（记者：小岛 郁太郎） ■日文原文 【JIMTOF】理論垂直分解能が1pmと高い3次元表面形状計測システムをニコンインステックが展示 |
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