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【求助】金属薄膜如何计算电阻率
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使用四探针法测薄膜电阻率,薄膜尺寸4*12mm,膜厚在100nm以下,如何排列探针比较好? 已用间距不等的直线法尝试过,但计算出来的数值误差很大,请广大虫友指教 |
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