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【求助】关于磷在单晶太阳能电池工艺
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最近老板让我仿真太阳能电池工艺，具体是高浓度的磷在硅中的扩散。目前到高浓度掺杂扩散产生缺陷就不知道该怎么做了。我这方面不懂，请高人指导下！ 具体是：1、高浓度掺杂扩散会产生哪些缺陷，具体是在什么条件下产生，对扩散 什么影响 2、与此相关文献 |
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