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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】关于磷在单晶太阳能电池工艺
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玉子石榴

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】关于磷在单晶太阳能电池工艺

最近老板让我仿真太阳能电池工艺，具体是高浓度的磷在硅中的扩散。目前到高浓度掺杂扩散产生缺陷就不知道该怎么做了。我这方面不懂，请高人指导下！

具体是：1、高浓度掺杂扩散会产生哪些缺陷，具体是在什么条件下产生，对扩散    什么影响
        2、与此相关文献
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踏踏实实的干活
1楼 2010-10-27 14:14:10
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