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sxrgreat新虫 (初入文坛)
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【求助】请问I-line wafer stepper 是什么意思？本人是菜鸟有哪位大侠能提供点资料看� 已有2人参与
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| 请问I-line wafer stepper 是什么意思？本人是菜鸟有哪位大侠能提供点资料看？ |
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wqnow
木虫 (正式写手)
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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光刻机，i-line指的是光的波长（365nm，汞蒸汽的i线）。 http://www.nfc.nctu.edu.tw/mechine_new/mechine/I-line.htm |
2楼2010-10-26 00:06:07