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【求助】传感器制作步骤 已有4人参与
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各位高人，需要您的帮助 传感器的制作步骤分为哪几步？ 我不是这个专业的，但是要制作传感器。特来求教。 我用的是压阻传感器。我在想输出电阻和外界压力要有一定的关系才能制作传感器。就是想问这个关系怎么得到呢？？ 感激不尽 |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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许多不同种类的压阻性材料都可用来制作压电阻，最简单形式的硅压阻感知器是扩散电阻。即以扩散的方式在P型(N型)的硅基板上制作具有两个接点的N型(P型)井所组成，由于这些元件的面电阻约在数百欧姆的范围，为了便于欧姆接触的制作，还必须在接点位置上额外扩散P+(N+)杂质于P型(N型)阱中。 对于MPa级的应力，应力与电阻上所产生的电压降Vr的关系可视为线性，在与X轴方向上的压电阻上的电压可以下面的数学式来描述： Vr = R0·I[1 + πL·σxx + πT(σyy + σzz )] 其中R0、 I、πT、πL 以及σij 分别为无应力下的电阻、外加电流、横向压阻系数、纵向压阻系数以及x,y,z三个方向上的张力分量 [ Last edited by xude209 on 2013-2-24 at 19:19 ] |
4楼2013-02-24 19:15:21
zhanxb
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3楼2013-02-23 22:36:20
weigo1987
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5楼2013-02-24 20:31:06
