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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】求助：如何在磁控溅射中定量通入H2O
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dashan86

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】求助：如何在磁控溅射中定量通入H2O

最近实验室想在磁控溅射中通入一些水汽，定量控制。但目前没有定量以及通入水汽的方法，求高手指导！多谢~
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1楼 2010-10-11 15:17:51
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪
★
ppjason(金币+1):3x 2010-10-11 18:16:41
dashan86(金币+1):谢谢~ 有通入气体，不过现在问题是如何定量带入 2010-10-12 09:10:07
磁控溅射中有没有通惰性气体或者工作气体呢？有的话可以用这些气体把水蒸汽带进去
赞一下(1人) 回复此楼
有实力才有魅力！
2楼2010-10-11 15:59:51
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20041696

银虫 (小有名气)
很危险吧
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3楼2010-12-06 16:53:34
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