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380677864木虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】PECVD过程加偏压后生长室内放电厉害，怎么办啊
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| RT，生长室内放电很厉害，一度烧坏了电流表，而且电流一直很不稳定，很难控制？是什么原因，有没有解决的好办法？？ |
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