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Lavinia2067木虫 (著名写手)
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【讨论】如何延长石墨坩埚的使用寿命? 已有4人参与
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Sample TextSample Text 我想请教一个问题,由于现阶段等静压石墨市场上数量比较少,但是,却又是直拉法生产单晶硅不可缺少的部件,它有高温承载作用,也有热传导作用,但是使用寿命不长,主要是在有缝隙以及弧度的地方减薄致使石墨埚必须报废,请问大家对于这个问题的看法。是因为氧化的原因还是因为炉内气体流动加速的化学反应的进行? |
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5楼2014-03-19 22:38:02
ln_hn
木虫 (小有名气)
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2楼2010-10-16 16:34:11
gggarnet
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4楼2010-10-17 09:40:46













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