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qzhang6568

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】请大家讨论下多层膜或超晶格的最大厚度是多少?

我现在做的一个课题,如果要应用的话,是需要多层膜或超晶格能达到一个较大的厚度或质量。 请问做薄膜的同行们,对于多层膜,在仍旧保持薄膜的性能的前提下,多层膜的最大厚度能达到多少呢?能达到几百个um吗?我曾经做个1um厚的双层膜,性能还是可以的。
    对单层薄膜来讲,如果厚度超过0.3 um的话,其磁学性能一般就会接近块体了。但对多层膜,由于不同层的strain effect,应该是可以达到较大的厚度的(并且薄膜区别于块体的磁性能还存在)。
    请大家根据自己的经验或所获得的知识,说说自己的看法:多层膜或超晶格的厚度最大能达到多少呢?
     谢谢大家!
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