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[交流] 【求助】扫描电镜已有1人参与

扫描电镜中二次电子探测器的原理是什么？

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1楼2010-10-05 16:24:28

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hljhrb_ccl

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taijun(金币+5): 2010-10-05 19:09:31
caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-10-06 13:59:18

二次电子探测器(又叫二次电子探头)如图7—13所示。电子探针作用于试样面上，在试样表面下50人左右的深度内发射出二次电子，真正二次电子的能量一般小于50ev，这些二次电子由于受到栅网电极正电场的作用(十250v)，被加速并聚焦在加有10kv电压的闪烁体上面，激发闪烁体发光。利用光导管将这些光量子锅台到光电倍增管的光电阴极上，信号电流得到很大的倍增，其后再由视频放大器进一步放大，使信号幅值达到显像管工作时所要求助数值。 ‘‘· 。
由于探针电流最小为矗＝1×10““A，而试样的二次发射系数一般都小于1，所以二次电子流数量级为J2＝1×10—12A，要将这么微弱的二次电子流放大，二次电子探酗器应具有良好的性能。首先，必须具有10’的放大增益，这样才能使光电倍增管输出端达10tL伞的输出电流；另外，探测器本身的噪声应当很小，且有足够快的响应速度，以满足扫描电镜中通频带的