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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】有了解MEMS技术的吗？
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lgb2008

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】有了解MEMS技术的吗？ 已有3人参与

有了解MEMS技术的吗，想学的话需要看什么相关的书籍呢？
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1楼 2010-09-28 21:08:01
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wubo_magic

金虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-10-16 15:53:11
fundamentals of microfabrication算是这方面的bible了，包括很多。还是看看你要做哪方面吧在细看吧。
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4楼2010-10-16 15:04:19
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ptdong

银虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-10-16 15:53:03
略有了解，书籍很多，入门的话可以看张文栋翻译的科瓦奇的微传感器与微执行器全书，也可以看senturia写得微系统设计等等。
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2楼2010-09-28 22:06:27
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lgb2008

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by ptdong at 2010-09-28 22:06:27:
略有了解，书籍很多，入门的话可以看张文栋翻译的科瓦奇的微传感器与微执行器全书，也可以看senturia写得微系统设计等等。

谢谢指点
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3楼2010-09-29 16:05:47
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wubo_magic

金虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-10-16 15:53:22
对了，记得有几篇nature上的review很好，lab on a chip。一会儿找到了发附件贴到下面

[ Last edited by wubo_magic on 2010-10-16 at 15:07 ]
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5楼2010-10-16 15:06:28
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