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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 信息科学 » 电子科学 » 【求助】求助silvaco tcad的问题
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tkhk

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】求助silvaco tcad的问题 已有3人参与

我发现tcad的各种工艺操作都是在片子正面，哪位大哥知道如何在片子背面做扩散，注入等操作？
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1楼 2010-09-24 19:45:25
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sentaurus

金虫 (小有名气)

11

tkhk(金币+5): 2010-10-02 19:49:33
我知道，有奖励没？
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还没想好！
3楼2010-10-02 17:56:53
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sentaurus

金虫 (小有名气)

11

tkhk(金币+5):谢谢，以后可能还要向你请教。 2010-10-03 15:35:30
还分期付款so~~

你先查看athena的manuual 看看有没有flip的操作。
sentaurus是有的。可以做背面工艺。
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还没想好！
4楼2010-10-02 20:52:40
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