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qgmeng2005

金虫 (小有名气)

[求助] 退火温度对薄膜的生成会有什么影响

现在在做薄膜的实验,但是得不到想要的成分分析,考虑是否是退火温度的问题。求大虾们给予解答,谢谢!
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qgmeng2005

金虫 (小有名气)

我的薄膜没有可以挥发的成分,是采用磁控溅射镀的薄膜,但是就是退火后元素结合不是想要的成分,询问具体的可能原因,谢谢啦~
4楼2010-09-24 09:03:22
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axs700

金虫 (正式写手)

TPE-这是个传说

【答案】应助回帖

红外的话没什么影响的
要软,要Q,要绵,要硬,要环保,要手感,要得要得!
2楼2010-09-20 09:18:25
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

薄膜的不同退火条件(温度、时间、气氛)对薄膜的质量(特别是结晶度、晶粒大小、晶体取向)影响是较大的,若化合物薄膜中有易挥发的组分,则退火对薄膜成分的影响也较大。具体问题具体分析,得看楼主的薄膜成分是什么了。
没有困难创造困难也要上网。
3楼2010-09-20 09:38:14
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

引用回帖:
Originally posted by qgmeng2005 at 2010-09-24 09:03:22:
我的薄膜没有可以挥发的成分,是采用磁控溅射镀的薄膜,但是就是退火后元素结合不是想要的成分,询问具体的可能原因,谢谢啦~

这种情况是比较常见的。在退火过程中,薄膜中的元素可以通过迁移重新分布,若退火条件不好,可引起成分偏析等现象而得不到想要的固溶体。
没有困难创造困难也要上网。
5楼2010-09-24 11:50:29
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