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jinxiaoyun

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】制备氧化铝模板装置怎么设计??

最近想在硅片上沉积Al(500nm左右)制备氧化铝模板,电沉积制备Ni纳米线,有如下几个问题:
1.装置怎么设计,选择常用的插入式的话,硅片也会被氧化的吧?
2.大家用什么恒压源呀?那东西贵吗?
3.用什么方法得到通孔的氧化铝模板?化学腐蚀可以吗 ??


有人做这方面的吗??
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vvxd

铜虫 (正式写手)

jinxiaoyun(金币+1): 2010-09-16 08:32:46
1 o圈比较好
2 横流比较好
3 交流沉积比较好
多拍拍照片看吧~~
dsd
2楼2010-09-16 03:25:15
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