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hfut1879

至尊木虫 (文坛精英)

[交流] 【讨论】关于TiO2纳米管阵列气敏传感器 已有6人参与

虫友中有没有用TiO2纳米管阵列做气敏传感器的啊?各位做器件的时候与TiO2纳米管阵列相连接的电极是如何连接的呢?
本人这方面是新手,多多指教哈!
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zguan

木虫 (正式写手)


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引用回帖:
Originally posted by hfut1879 at 2010-09-06 13:49:53:
虫友中有没有用TiO2纳米管阵列做气敏传感器的啊?各位做器件的时候与TiO2纳米管阵列相连接的电极是如何连接的呢?
本人这方面是新手,多多指教哈!

自己不是做这个的,不是很懂。
不过看过一篇SnO2/ZnO阵列的传感器
就是用溅射镀金做下层电极的,生长好了之后,用PMMA完全覆盖阵列,再用氧气等离子腐蚀掉阵列端头上面的PMMA。之后就可以在PMMA的支撑下溅射镀上层膜。最后丙酮洗掉PMMA
只是复述,完全不懂。。希望有帮助
8楼2010-09-15 10:05:39
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liuyang12345

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我也想知道这个问题。很多阵列的器件不知道是如何连接电极、测试的。
以前看到过类似说是利用电化学的方法,先将一端固定在电极上,之后在切断顶端,制备出电极。我还没实践过。
2楼2010-09-08 14:59:46
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Jefferypan

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
将纳米管阵列放在最中间一层,上下各放一个电极,在最外层上下用绝缘体压住,把中间三部分压住。
3楼2010-09-10 13:14:44
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hfut1879

至尊木虫 (文坛精英)

引用回帖:
Originally posted by Jefferypan at 2010-09-10 13:14:44:
将纳米管阵列放在最中间一层,上下各放一个电极,在最外层上下用绝缘体压住,把中间三部分压住。

问题是纳米管很脆啊,如果按照这样操作的话薄膜很容易就破裂了
4楼2010-09-10 16:34:09
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