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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【讨论】关于TiO2纳米管阵列气敏传感器
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hfut1879

至尊木虫 (文坛精英)

[交流] 【讨论】关于TiO2纳米管阵列气敏传感器 已有6人参与

虫友中有没有用TiO2纳米管阵列做气敏传感器的啊？各位做器件的时候与TiO2纳米管阵列相连接的电极是如何连接的呢？
本人这方面是新手，多多指教哈！
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1楼 2010-09-07 09:49:53
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zguan

木虫 (正式写手)
★
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引用回帖:
Originally posted by hfut1879 at 2010-09-06 13:49:53:
虫友中有没有用TiO2纳米管阵列做气敏传感器的啊？各位做器件的时候与TiO2纳米管阵列相连接的电极是如何连接的呢？
本人这方面是新手，多多指教哈！

自己不是做这个的，不是很懂。
不过看过一篇SnO2/ZnO阵列的传感器
就是用溅射镀金做下层电极的，生长好了之后，用PMMA完全覆盖阵列，再用氧气等离子腐蚀掉阵列端头上面的PMMA。之后就可以在PMMA的支撑下溅射镀上层膜。最后丙酮洗掉PMMA
只是复述，完全不懂。。希望有帮助
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8楼2010-09-15 10:05:39
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liuyang12345

木虫 (小有名气)
★
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我也想知道这个问题。很多阵列的器件不知道是如何连接电极、测试的。
以前看到过类似说是利用电化学的方法，先将一端固定在电极上，之后在切断顶端，制备出电极。我还没实践过。
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2楼2010-09-08 14:59:46
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Jefferypan

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
将纳米管阵列放在最中间一层，上下各放一个电极，在最外层上下用绝缘体压住，把中间三部分压住。
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3楼2010-09-10 13:14:44
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hfut1879

至尊木虫 (文坛精英)
引用回帖:
Originally posted by Jefferypan at 2010-09-10 13:14:44:
将纳米管阵列放在最中间一层，上下各放一个电极，在最外层上下用绝缘体压住，把中间三部分压住。

问题是纳米管很脆啊，如果按照这样操作的话薄膜很容易就破裂了
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4楼2010-09-10 16:34:09
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