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eastsea

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何利用RIE设备加工PTFE薄膜

想利用RIE设备沉积高聚物薄膜，只在文献中看到过。版上有朋友做过这方面的工作吗？请问具体过程以及注意事项如何，谢谢！
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1楼 2010-08-30 17:23:42
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