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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 【求助】请问HSQ对紫外光敏感吗？
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ylkitty

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问HSQ对紫外光敏感吗？

我知道HSQ对电子束是敏感的，通常可以用它来做电子束刻蚀。但是这种材料对紫外光是否敏感呢？能否用来做紫外光刻？
请知情者告知，谢谢！
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1楼 2010-08-20 12:23:46
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