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ylkitty

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[交流] 【求助】请问HSQ对紫外光敏感吗？

我知道HSQ对电子束是敏感的，通常可以用它来做电子束刻蚀。但是这种材料对紫外光是否敏感呢？能否用来做紫外光刻？
请知情者告知，谢谢！

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1楼 2010-08-20 12:23:46

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