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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】请问ICP后漏电流增大的原因，以及解决方法
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kaiserlove

新虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】请问ICP后漏电流增大的原因，以及解决方法 已有2人参与

本人现正在调研ICP工艺对于漏电流的影响（主要是对GaN\AlGaN材料的），希望各位前辈可以给我提供一点帮助！最好可以提供一些参考文献
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1楼 2010-08-18 10:06:39
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hc1112223

禁言 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽
2楼2010-08-24 22:00:09
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knyour

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
最好提供一些信息， 做的什么器件， 比如hemt， 这个漏电流是栅的漏电流，还是器件关断后，从漏到源的漏电流。
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fight
3楼2013-12-09 14:28:01
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