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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】有谁用TEOS匀胶做SiO2膜吗？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】有谁用TEOS匀胶做SiO2膜吗？ 已有5人参与

我用TEOS做源，匀胶法在P型硅片上制作SiO2薄膜，没有烘之前膜还是均匀的，可是在80度夏烘了以后，膜出现卷膜现象，也就是部分薄膜与衬底分离了，怎么回事？怎么办?
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1楼 2010-08-09 08:32:25
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mooonly

银虫 (小有名气)
★
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我是刚开始做这个实验，凝胶没成功，请问下，怎样知道水解了，溶胶形成了，多谢多谢
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8楼2010-09-16 11:27:58
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mooonly

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
哦，那搅拌时会出现稠状吗，还是要陈化后？
赞一下(2人) 回复此楼
10楼2010-09-17 11:34:58
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