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senpeng

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】微区测试中的束斑问题 已有1人参与

想问下XPS,eds等微区表征手段,哪种表征用的束斑更小,就是说,做点分析时测试的更精确。
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tjumark

金虫 (著名写手)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
guxue(金币+2):有道理 2010-07-09 06:39:52
首先,XPS定量分析比EDS要更正确;
其次,点分析时除非XPS也像EDS那样连上SEM,你才能够找到点。
知足常乐,奋斗不息。
2楼2010-07-08 22:28:10
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