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电镜试样（金属薄膜）的制备方法
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| 我目前急需一份电镜试样（粉末试样、复型、金属薄膜）的制备方法，请各位帮帮忙。 |
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xiangyong02
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直流溅射法制备金属薄膜
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kangyanhuda(金币+1):谢谢你的帮忙
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溅射法制备薄膜的基本原理 利用带有电荷的离子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的靶电极，在离子能量合适的情况下，入射的离子在与靶表面的原子的碰撞过程中，将靶表面的原子溅射出来。这些被溅射出来的原子带有一定的动能，并且会沿着一定的方向射向衬底，从而实现在衬底上沉积薄膜。 实验步骤 将靶与基片之间的距离调整到4cm； 将玻璃衬底用丙酮和无水乙醇分别在超声波清洗器中清洗4分钟，烘干后放在镀膜室的工作台上； 安装好真空室的玻璃罐体和上盖，注意玻璃罐体要和基座以及上盖的密封圈接触良好。 开机械泵，抽真空，当真空度达到2~3Pa时，打开氩气控制阀(针阀) ，按照预先定好的供气和溅射条件，沉积薄膜。 完成后，先关闭氩气控制阀，再停止抽真空。放气，取出样品。 继续制备其它样品。 |
3楼2006-03-31 15:55:55
xiangyong02
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