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lovelyloeve

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】black silicon 已有2人参与

求助有关 black silicon 的资源材料 等等 尤其是我下图这个尺寸的(20nm)
谢谢 虫友
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diblock copolymer
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lovelyloeve

新虫 (初入文坛)

????????大哥大姐们。。。给点意见。。。。。。
虽然我没金币。。。。但是我有一颗XXX的心! 哈哈
diblock copolymer
2楼2010-06-17 16:18:45
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你这black silicon是怎么做的?湿法腐蚀出来的还是干法刻蚀得到的呢?
3楼2010-06-17 16:45:25
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lovelyloeve

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by damuchongzi at 2010-06-17 16:45:25:
你这black silicon是怎么做的?湿法腐蚀出来的还是干法刻蚀得到的呢?

最后一步是用DRIE 在负110温度下完成的。。。
diblock copolymer
4楼2010-06-17 17:31:30
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lovelyloeve

新虫 (初入文坛)

我顶。。。。。
diblock copolymer
5楼2010-06-18 16:02:32
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lovelyloeve

新虫 (初入文坛)

有没专业人士答复。。。
diblock copolymer
6楼2010-06-21 15:23:42
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