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zmmm1983

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】你见过这样的TEM照片吗? 已有2人参与

我最近做TEM的截面样品,离子减薄之后,发现薄膜被撕裂了,据做实验的老师讲,是由于减薄的时候对粘样品用的胶受热融化,收缩的时候把薄膜给撕裂了。我的薄膜是纳米的小球堆砌起来的很疏松多孔(沉积时 每个原子的 能量小于0.2eV)。
不知道怎么样才能改进呢?
我做样品时用2000的砂纸打磨到40~50 micro,之后用抛光之磨到30micro左右,没有做dimpler 直接用 ion milling。
怎样才能让薄膜不被撕开呢?

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zmmm1983

铜虫 (小有名气)

问题补充

衬底是硅
薄膜是 WO3
2楼2010-06-04 13:45:39
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sfjia

木虫 (正式写手)

zmmm1983(金币+1):感谢回复 2010-06-07 01:15:12
不知道楼主用什么胶粘的样品?
3楼2010-06-04 17:37:52
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zmmm1983

铜虫 (小有名气)

胶是 暗红色和透明的两种用1:10的比例配出来的,上面写着 hardener and Resin
我这边粘TEM样品不用 M bond,都用这个
谢谢回复
4楼2010-06-07 01:14:58
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