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木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】石墨在NF3plasma中是否有反应 已有1人参与

石墨在NF3plasma中是否有反应 ? 解释下为什么,或者相关实验,
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魔鬼的孩子自有魔鬼的好运
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M.K

木虫 (正式写手)

查到了,有反应的,
PLASMA FLUORINATION OF GRAPHITE
     
作者: MERFELD GD, PETRICH MA  
来源出版物: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS    卷: 12    期: 2    页: 365-368    出版年: MAR-APR 1994   
魔鬼的孩子自有魔鬼的好运
2楼2010-06-03 16:25:31
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