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【讨论】XPS仪器厂商性能大比拼已有6人参与
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目前主要的xps仪器生产厂家有: 1 。 ULVCA-PHI公司,原美国phisical electronics公司,产品型号有:phi-5000Versaprobe系列,Quantera系列。原大名鼎鼎的美国PE公司产品。 主要生产的xps特点是采用聚焦x射线技术,最小的x-ray光斑可以做到小于10um,并且具有专利的双束电荷中和系统(电子束和离子束),中和效果极佳。同时,采用扫描x-ray技术可以获得二次电子图像,对微区定位分析很重要。但是产品价格高。采用聚焦x-ray技术。 2。岛津公司,原来的英国kratos公司,又是一家被日本公司收购的仪器公司,主要代表产品为:kratos-ultra DLD,其特点是采用了延迟线技术(DLD),采集图像速度特别快。同时采用浸没透镜技术,提高一起的灵敏度。另外,其电子云中和技术也是依靠磁浸透镜。但是其小束斑技术信号差,对样品垂直位置放置要求严格,z轴高度在(-20um~+20um)。性能虽然差一点。采用虚拟探针技术。 3。Thermal VG公司,产品的系列较多,K alpha, theta 300, theta 300xt, theta probe, ESCALAB250等等,主要技术特点是平行光成像技术,采用两各不同的检测器,一个负责采集谱图,一个负责采集图像,其主要缺点都是降低检测器的有效接收面积,原因是其中一个检测器(谱图)被当作光栅使用。性能更差。采用虚拟探针技术。 |
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americanyk
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tof-sims(金币+1): 2010-06-04 11:03:32
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I support this one. In my lab, we use this one. 1 。 ULVCA-PHI公司,原美国phisical electronics公司,产品型号有:phi-5000Versaprobe系列,Quantera系列。原大名鼎鼎的美国PE公司产品。 主要生产的xps特点是采用聚焦x射线技术,最小的x-ray光斑可以做到小于10um,并且具有专利的双束电荷中和系统(电子束和离子束),中和效果极佳。同时,采用扫描x-ray技术可以获得二次电子图像,对微区定位分析很重要。但是产品价格高。采用聚焦x-ray技术。 |
2楼2010-06-02 17:12:06
wongs
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