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【交流】XPS仪器厂商性能大比拼 已有2人参与
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XPS仪器厂商性能大比拼 目前主要的xps仪器生产厂家有： 1 。 ＵＬＶＣＡ－ＰＨＩ公司，原美国ｐｈｉｓｉｃａｌ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ公司，产品型号有：ｐｈｉ－５０００Ｖｅｒｓａｐｒｏｂｅ系列，Ｑｕａｎｔｅｒａ系列。原大名鼎鼎的美国PE公司产品。 主要生产的ｘｐｓ特点是采用聚焦ｘ射线技术，最小的ｘ－ｒａｙ光斑可以做到小于１０ｕｍ，并且具有专利的双束电荷中和系统（电子束和离子束），中和效果极佳。同时，采用扫描x-ray技术可以获得二次电子图像，对微区定位分析很重要。但是产品价格高。采用聚焦x-ray技术。 2。岛津公司，原来的英国ｋｒａｔｏｓ公司，又是一家被日本公司收购的仪器公司，主要代表产品为：kratos-ultra DLD，其特点是采用了延迟线技术（DLD），采集图像速度特别快。同时采用浸没透镜技术，提高一起的灵敏度。另外，其电子云中和技术也是依靠磁浸透镜。但是其小束斑技术信号差，对样品垂直位置放置要求严格，z轴高度在（-20um~+20um）。性能虽然差一点。采用虚拟探针技术。 3。Thermal VG公司，产品的系列较多，K alpha, theta 300, theta 300xt, theta probe, ESCALAB250等等，主要技术特点是平行光成像技术，采用两各不同的检测器，一个负责采集谱图，一个负责采集图像，其主要缺点都是降低检测器的有效接收面积，原因是其中一个检测器（谱图）被当作光栅使用。性能更差。采用虚拟探针技术。 |
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