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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】请教磁控溅射中硅薄膜的生长模式？
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worry

[交流] 【求助】请教磁控溅射中硅薄膜的生长模式？ 已有1人参与

我看到在磁控溅射中，硅薄膜一般有三种生长模式：三维岛状模式；平面层状模式；中间模式。

可以通过哪些方式确认硅薄膜的生长模式？

此外，是不是如果硅薄膜表面有许多细小颗粒就可认为薄膜按三维岛状模式生长，还应考虑哪些因素？

谢谢啊！
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1楼 2010-06-02 00:01:32
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
形核生长只是初始阶段，凝结核在纳米量级。需要慎重判断
硅薄膜表面有许多细小颗粒 有可能是靶质量不好引起的
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2楼2010-06-03 13:45:38
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