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X射线光电子能谱(XPS) 不仅电子可以用来激发原子的内层电子，能量足够高的光子也可以作为激发源，通过光电效应产生出具有一定能量的光电子。X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy)，简写为(XPS)就是利用能量较低的X射线源作为激发源，通过分析样品发射出来的具有特征能量的电子，实现分析样品化学成分目的的一种表面分析技术。XPS技术已用范围十分广泛，主要用于分析表面元素组成和化学状态，以及分子中原子周围的电子密度，特别是原子价态以及表面原子电子云和能级结构方面。 X射线光电子能谱分析法是用X射线作入射束，在与样品表面原子相互作用后，将原子内壳层电子激发电离，以检测样品成分及结构的信息。这个被入射的特征X射线激发电离的电子称为光电子。测量光电子的动能可以鉴定样品所含元素及其化学状态。它不但用于化学元素分析，而且更广泛地应用于表面科学和材料科学。 光电发射是光电子能谱的基本原理，任何材料在光电子作用下都可发射电子，探测到这些电子，并分析它们所带有的信息(如能量、强度、角分布等)，从而了解样品的组成及原子和分子的电子结构，这就是光电子能谱。按光子能量，光电子谱可分为X射线光电子谱(XPS)，其能量范围是100 eV-10 keV，紫外光电子谱(UPS)，其能量为10 eV-40 eV。UPS主要分析价电子和能带结构，XPS可以激发、分析原子芯能级结构。 |
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