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lgh740915银虫 (初入文坛)
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[交流]
【请教】ICP的Turbo pump为什么不能启动？
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等离子刻蚀ICP启动后，其它都正常，仅有Turbo pump（型号：STP-A1303WV80 Turbomolecular pump）无法启动，Turbo pump控制器（型号：BOC EDWARDS）reset后也没有任何反应，请提供几种可能的故障原因及解决办法，非常感谢！！！ [ Last edited by lgh740915 on 2010-5-22 at 09:29 ] |
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