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【求助】单晶硅制绒催化剂的原理 已有4人参与
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| 有人研究过单晶硅制绒催化剂的原理吗?催化剂在里面的作用原理是什么? |
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stardom427
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gamewang
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4楼2010-07-20 20:46:33
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这个应该叫制绒添加剂,国内做的好的有常州时创、上海晶太、昆山大远等国外GP solar的不错 原理简单如下: 制绒的主要化学反应是: Si+2NaOH+H2O==Na2SiO3+2H2↑ 硅片制绒生产过程中,溶液失效是生产工艺波动的根本主要原因,失效的原因在于反应过程中NaOH的不断消耗和Na2SiO3的不断产生,导致反应物-OH浓度降低,且硅片表面无法与其获得足够的接触速率;而且由于反应在高温80~90度左右进行,往往发生剧烈反应产生大量气泡,且所得绒面并不理想。传统工艺一般是通过添加硅酸钠和IPA(异丙醇)来抑制反应的进行,控制反应速率,从而得到比较好的绒面状态。最新工艺一般是通过在溶液中添加助剂以达到促进Si与-OH的接触速率,从而稳定溶液体系,延长溶液失效周期,稳定工艺,拓宽工艺容差范围。 制绒添加剂含有特殊功能的表面活性剂,它的加入可以改善制绒液与硅片表面的润湿性,且制绒添加剂对腐蚀液中OH-离子从腐蚀液向反应界面的输运过程具有缓冲作用,使得大批量腐蚀加工单晶硅金字塔绒面时,溶液中NaOH含量具有较宽的工艺范围,有利于提高产品工艺加工质量的稳定性。 参考:http://baike.baidu.com/view/5937632.htm |
5楼2012-07-25 13:10:33












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