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关于金相实验腐蚀剂的选择
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| 做金相实验时，AZO靶材和ITO靶材用什么腐蚀剂好？为什么？ |
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qfw_68
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有尾巴的青蛙
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mabo2008(金币+5, 博学EPI+1): 2010-05-21 11:42:42
mabo2008(金币+3):谢谢 2010-05-27 08:18:38
mabo2008(金币+3):谢谢 2010-05-27 08:18:38
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参考文献：Y.C.Lin,Y.C.Jian,J.H.Ji.. A study on the wet etching behavior of AZO (ZnO:Al) transparent conducting film [J]. AppliedSurfaceScience,2008，(254): 2671-2677 利用TMAH溶液对所制备的AZO薄膜进行刻蚀，得到不同浓度的TMAH溶液在不同的温度下的腐蚀率，其中在TMAH：H2O＝2.38：97.62的溶液中，当温度为45℃时，样品的腐蚀率为22nm/min ITO湿法腐蚀 参考： https://www.2ic.cn/html/26/t-310026.html [ Last edited by qfw_68 on 2010-5-14 at 17:02 ] |
2楼2010-05-14 16:50:53
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