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mabo2008

金虫 (正式写手)

[交流] 关于金相实验腐蚀剂的选择

做金相实验时,AZO靶材和ITO靶材用什么腐蚀剂好?为什么?
事事我已抗争,成败不必在我。
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

mabo2008(金币+5, 博学EPI+1): 2010-05-21 11:42:42
mabo2008(金币+3):谢谢 2010-05-27 08:18:38
参考文献:Y.C.Lin,Y.C.Jian,J.H.Ji.. A  study  on  the  wet  etching  behavior  of  AZO (ZnO:Al) transparent conducting  film [J]. AppliedSurfaceScience,2008,(254): 2671-2677
利用TMAH溶液对所制备的AZO薄膜进行刻蚀,得到不同浓度的TMAH溶液在不同的温度下的腐蚀率,其中在TMAH:H2O=2.38:97.62的溶液中,当温度为45℃时,样品的腐蚀率为22nm/min


ITO湿法腐蚀  参考:
https://www.2ic.cn/html/26/t-310026.html

[ Last edited by qfw_68 on 2010-5-14 at 17:02 ]
没有困难创造困难也要上网。
2楼2010-05-14 16:50:53
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