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runqi

[交流] 讨论:xps 实战

成为虫友几个月,斩获颇丰,找到了很多珍贵的资料。但是,总有一种消化不良的感觉。
书本都是一些最基本的原理分析,在实际科研上,往往需要更多的经验和技巧。今天,我把以前的关于xps分析材料成分的一些经验简单总结一下,真诚欢迎虫友补充和纠正。

1。简介
XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)又称ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis), 能够分析出了氢,氦以外的所有元素。测定精确到0.1at%, 空间分辨率为100um, X-RAY的分析深度在1.5nm左右。

XPS的样品一般是10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过5mm. 一般我的样品5mm*5mm*1mm. XPS分析室的真空度可以达到<10E-9 Pa, 因此样品要干燥,不能释放气体。xps的灵敏度很高,待测样品表面,绝对不能用手,手套接触。也不要清洗。

对于非导体样品,由于表面电荷的累计,我们需要打开charge neutroliszer.

2。原理


这方面很多书上都介绍了,归根结底就是一个公式:

E(b)= hv-E(k)-W

E(b): 结合能(binding energy)
hv: 光子能量 (photo energy)
E(k): 电子的动能 (kinetic energy of the electron)
W: 仪器的功函数(spectrometer work function)

通过测量接收到的电子动能,就可以计算出元素的结合能。
铝靶:hv=1486.6 eV
镁靶:hv=1253.6 eV

3 应用

由于元素的结合能是唯一标识的,因而我们可以用xps作:
(1).组成样品的元素的标定
(2)各元素含量的计算
(3)元素的侧向分布
(4)化学态标定

(5)测量超薄(小于5纳米)样品的厚度
利用电子在不同材料的传播的平均自由程不同。

***********如果这对你还有一点点帮助的话,我就继续写,下一步分主要介绍我所分析过的一些例子,注意什么事项等,暂停一下,让大家发言讨论******************


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xiejr

至尊木虫 (正式写手)

1

和谁的结合能
17楼2006-05-13 19:14:23
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