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tsyzznicky

金虫 (著名写手)


[交流] 【讨论】EDS,AES,XPS都可以做先扫描,那精确度谁高谁低? 已有1人参与

能谱,XPS,AES都可以对物质进行先扫描以分析成分变化,那这三种测试手段谁的定量精确度高呀?

这三种测试手段能分析到线长度为5nm左右的元素变化吗?

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xiao7

银虫 (正式写手)


mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-05-07 13:06:47
tsyzznicky(金币+3): 2010-05-07 13:25:05
精度都不高。跟仪器有关。
XPS可能有20%的误差,分析到千分之一。
能谱也是到千分之一。
ICP-AES的精度似乎高一些,溶液相好像到ppm量级吧,现在的好仪器再到ppb也说不定。

国外的牛仪器,EDX成像的分辨率可以到1nm以下。仪器跟仪器的差别太大。
跟电子束斑的大小有关。
2楼2010-05-07 11:32:46
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