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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【讨论】EDS，AES，XPS都可以做先扫描，那精确度谁高谁低？
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tsyzznicky

金虫 (著名写手)

[交流] 【讨论】EDS，AES，XPS都可以做先扫描，那精确度谁高谁低？ 已有1人参与

能谱，XPS，AES都可以对物质进行先扫描以分析成分变化，那这三种测试手段谁的定量精确度高呀？

这三种测试手段能分析到线长度为5nm左右的元素变化吗？

请指教
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1楼 2010-05-07 10:38:32
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xiao7

银虫 (正式写手)
★
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-05-07 13:06:47
tsyzznicky(金币+3): 2010-05-07 13:25:05
精度都不高。跟仪器有关。
XPS可能有20%的误差，分析到千分之一。
能谱也是到千分之一。
ICP-AES的精度似乎高一些，溶液相好像到ppm量级吧，现在的好仪器再到ppb也说不定。

国外的牛仪器，EDX成像的分辨率可以到1nm以下。仪器跟仪器的差别太大。
跟电子束斑的大小有关。
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2楼2010-05-07 11:32:46
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