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tsyzznicky

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[交流] 【讨论】EDS，AES，XPS都可以做先扫描，那精确度谁高谁低？已有1人参与

能谱，XPS，AES都可以对物质进行先扫描以分析成分变化，那这三种测试手段谁的定量精确度高呀？

这三种测试手段能分析到线长度为5nm左右的元素变化吗？

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1楼 2010-05-07 10:38:32

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xiao7

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★
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-05-07 13:06:47
tsyzznicky(金币+3): 2010-05-07 13:25:05

精度都不高。跟仪器有关。
XPS可能有20%的误差，分析到千分之一。
能谱也是到千分之一。
ICP-AES的精度似乎高一些，溶液相好像到ppm量级吧，现在的好仪器再到ppb也说不定。

国外的牛仪器，EDX成像的分辨率可以到1nm以下。仪器跟仪器的差别太大。
跟电子束斑的大小有关。

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