| 查看: 1517 | 回复: 1 | |||
[交流]
【讨论】sio2薄膜的用途转载---大家看说的靠谱吗已有1人参与
|
|
在导电基体上制作薄膜传感器的过程中，需要在基体与薄膜电极之间沉积一层绝缘膜。二氧化硅薄膜具有良好的绝缘性能，并且稳定性好，膜层牢固，长期使用温度可达1000℃以上，应用十分广泛。通常制备SiO2薄膜的现行方法主要有磁控溅射、离子束溅射、化学气相沉积、热氧化法、凝胶－溶胶法等。本文系统阐述了各种方法的基本原理、特点及适用场合，并对这些方法做了比较。 正文：SiO2 薄膜以其优异的性能在半导体、微波、光电子、光学器件以及薄膜传感器等领域获得了广泛的应用。在微电子技术中SiO2膜被用作扩散掩蔽层、MOS器件的绝缘栅、多层布线的绝缘隔离层以及器件表面的钝化保护层等。SiO2膜还以其折射率低（n=1.458）、透光性好的特性用于光学零件的表面防护以及减反射涂层。此外SiO2膜具有良好的绝缘性、稳定性和机械特性，硬度高、结构精细、膜层牢固、抗磨耐腐蚀、熔点高而用于多层薄膜传感器的绝缘层。为此，多年来人们对SiO2膜制作方法及性能等进行了广泛的研究。对于应用于微电子技术和传感器技术中的SiO2膜，人们关心的是SiO2薄膜的介电常数、击穿场强、绝缘电阻、固定电荷和可动电荷密度等电性能指标。应用于光学镀膜领域的SiO2膜，人们更关心膜层的折射率、消光系数及透明区间等光学性能指标。通常制备SiO2薄膜现行方法主要有磁控溅射、离子束溅射、化学气相沉积(CVD)、热氧化法、凝胶- 溶胶法 |
回复此楼» 猜你喜欢
心脉受损
已经有5人回复
-
博士读完未来一定会好吗
已经有15人回复
-
Springer期刊投稿求助
已经有4人回复
-
读博
已经有3人回复
-
小论文投稿
已经有3人回复
-
Bioresource Technology期刊，第一次返修的时候被退回好几次了
已经有9人回复
-
到新单位后，换了新的研究方向，没有团队，持续积累2区以上论文，能申请到面上吗
已经有8人回复
-
申请2026年博士
已经有6人回复
-
请问哪里可以有青B申请的本子可以借鉴一下。
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
总结几种常见的Word转换PDF方法【转载】
已经有86人回复- 转载：准备出国各位，你们准备拿长居吗？德国长居的利与弊分析
已经有4人回复
- 致一位“愤青”的信（美）克里斯托弗·西钦斯着【转载】
已经有9人回复
- 以案说法·合同法篇【转载】
已经有23人回复
- 感动人一生的100 个故事【转载】
已经有26人回复
- 《现代生活自我防范手册》扫描版[PDF]【转载】
已经有13人回复
- 《香烟火柴100变：家庭小魔术》扫描版[PDF]【转载】
已经有34人回复
- 有限元利器Abaqus指导教材Analysis of Geotechnical Problems with ABAQUS【转载】
已经有118人回复
- 不同PLA/SiO2配比的薄膜的红外光谱图
已经有12人回复
- 【求助】在石英衬底上镀一层SiO2薄膜，用什么方法使膜厚达到微米量级
已经有18人回复
 |
2楼2013-11-27 23:45:37