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【讨论】环境扫描电子显微镜与场发射扫描电子显微镜 区别 已有1人参与
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环境扫描电子显微镜与场发射扫描电子显微镜 有何区别 http://blog.sina.com.cn/zhaoyonghgd |
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| （3）环境扫描电镜（ESEM）。低真空扫描电镜样品室最高低真空压力为400Pa，ESEM样品室的低真空压力可达2 600Pa，也就是说ESEM样品室可容纳更多分子。在这种状态下，可配置水瓶向样品室输送水蒸气或输送混合气体，若跟高温或低温样品台联合使用则可模拟样品的周围环境，结合扫描电镜观察，可得到环境条件下试样的变化情况。环扫实现较高的低真空，其核心技术就是采用两级压差光栅和气体二次电子探测器，还有一些其他相关技术也相继得到完善。它是使用1个分子泵和2个机械泵，2个压差（压力**）光栅将主体分成3个抽气区，镜筒处于高真空状态，样品周围为环境状态，样品室和镜筒之间存在一个缓冲过渡状态。使用时，可根据情况任意选择高真空、低真空和环境3个模式，并且在3种模式下都配有分辨率达到3.5nm的二次电子探测器 |
2楼2010-04-14 09:48:01