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zsbird1223铜虫 (小有名气)
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【求助】EPMA和XPS的区别 已有11人参与
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我想对碳化硅纤维径向进行成分的线扫描,是不是用EPMA要好些? 看文献上都是用的EPMA进行分析,有没有虫友能给推荐个地方做测试啊,最后在北京附近的~ 谢谢咯 |
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diwunju
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zhangquan8385: 回帖置顶 2012-02-25 13:41:31
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EPMA和XPS根本就是两回事啊。EPMA是electron beam microanalysis，实际上是由聚焦电子束激发样品的特征X射线，再用波长发散谱仪分析X射线的波长确定样品中元素种类和丰度的方法。XPS是用X射线作为激发光源使样品产生光电子，分析光电子的动能推算样品中电子的结合能，获得元素种类和化学状态的方法。你要做线扫，只能用EPMA，因为X射线很难聚焦的，XPS做微区分析很困难的。 如果你问EPMA和EDS，那还有点容易弄混。EDS也是由聚焦电子束激发样品的特征X射线，但是是分析X射线的能量（EPMA是分析波长）来确定样品中元素种类和丰度的方法。EPMA的能量分辨率高，但是测量慢，辐照损伤大，EDS速度快，但是分辨率低。还有一种叫WDS的，和EPMA类似，但是一般EPMA是很专门的仪器，WDS可以加在SEM上用。 [ Last edited by diwunju on 2010-4-13 at 10:11 ] |
2楼2010-04-13 10:06:24
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