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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】薄膜的XRD测样问题
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北交宁宁

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】薄膜的XRD测样问题 已有4人参与

我是在玻璃基片上旋涂ZnO薄膜，膜厚大概为100nm。请问可以直接拿镀膜玻璃片测XRD么？样片需要多大能测？请给与指教。另外PDF卡片不是只有一种粉末衍射卡片。薄膜的物相分析也是用它吗？？可以对应的很好吗？

[ Last edited by 北交宁宁 on 2010-4-13 at 00:02 ]
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镀膜与膜层或涂层检测

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拥抱真是个奇怪的东西，明明靠的那么近，却看不见彼此的脸
1楼 2010-04-12 21:55:29
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huangyaq

金虫 (小有名气)

可以

★
zhangwj(金币+1):thanks 2010-04-13 11:26
北交宁宁(金币+1): 2010-04-13 12:58
LZ可以直接拿去测试的，不过要看你用的XRD型号，Bruker D8的把他放在黏胶上就可以了，如果是日本的XRD， 需要在载玻片下再加上一片玻璃与标准样品片厚度保持一致。
不过100nm的氧化锌估计测出来的峰强度会较低，建议可以涂厚些。
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2楼2010-04-13 09:12:48
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beyondanycal

银虫 (正式写手)
★
zhangwj(金币+1):thanks 2010-04-13 11:26
北交宁宁(金币+1): 2010-04-13 12:58
玻璃衬底上没问题；不过厚度100nm建议用小角掠射，测得信号强度和样品尺寸有相关性，每次测试样品尺寸一致，且在设备承受的范围内越大越好
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天行牛
3楼2010-04-13 10:46:17
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chnoy

银虫 (小有名气)
北交宁宁(金币+1): 2010-04-13 12:58
薄膜生长可能会择优取向，有可能只有一个峰，参考用同样方法做的文章吧。
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4楼2010-04-13 12:34:00
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guoying002

金虫 (小有名气)
从基本原理来讲，都是遵从布拉格方程的，没有本质区别。

区别在于薄膜比较薄（100nm），这个时候用通常的XRD设备可能测不到薄膜的信息，而需要使用掠入射的方式。

而粉末样品通常有足够质量的物质参与衍射，用通常的XRD设备就可以
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5楼2010-04-13 14:45:00
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